Интернет-магазин My-shop.ru
Акции   
Персональный раздел v
   Доставка    Оплата    Скидки    Форум    Помощь
для Москвы  +7 (495) 638-53-38
бесплатно для РФ  +7 (800) 100-53-38
 
0
• 
Книги (690923)
• 
Научная и научно-популярная литература (68669)
• 
Прикладные науки. Техника (6537)
• 
Материаловедение. Нанотехнологии (204)

• 
Книги (690923)
• 
Научная и научно-популярная литература (68669)
• 
Прикладные науки. Техника (6537)
• 
Автоматика. Радиоэлектроника. Связь (879)
• 
Радио. Радиотехника (221)
• 
Электроника. Радиоэлектроника (425)

• 
Образование, учебная литература (188353)
• 
Для специалистов (10146)
• 
Информатика. Электроника. Связь (318)
• 
Научные издания, теории, монографии, статьи, лекции (118)



Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторов

Красников Геннадий Яковлевич (найти все товары)

Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП-транзисторовВ книге рассмотрены особенности работы субмикронных МОП-транзисторов, описаны направления развития и ограничения применения методов масштабирования транзисторов, представлены требования к подзатворным диэлектрикам и технологии их формирования, различные конструкции сток-истоковых областей МОПТ и технологические процессы создания мелкозалегающих легированных слоев. Рассмотрены проблемы влияния масштабирования размеров элементов в субмикронную область и особенностей технологических процессов на надежность и долговечность субмикронных МОП-транзисторов. Представлены данные о влиянии технологических процессов изготовления субмикронных СБИС (процессов плазменной обработки, ионного легирования и технологических операций переноса изображения) на деградацию подзатворного диэлектрика, а значит - на уровень выхода, надежность и долговечность годных готовых изделий.
Книга предназначена для специалистов в области проектирования и разработки технологии изготовления КМОП СБИС, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей технических вузов.

Издательство: Техносфера

Рейтинг: 5.0 (голосов: 2)
Ваша оценка: 1 2 3 4 5  

дата выпуска: 2011 г. 
издание: 2-е
язык: русский
количество томов: 1
количество страниц: 800 стр.
переплет: твердый
формат: 70x100/16 (170x240 мм)
тираж: 1000 экз.
стандарт: 5 шт.
возрастная категория: 18+ (нет данных)
код системы скидок: 25
код в My-shop.ru: 1103979

ISBN: 978-5-94836-289-2


Красников Геннадий Яковлевичавтор/составительКрасников Геннадий Яковлевич, найти все товары

1 001 руб.
в наличии*
ориентировочная дата отгрузки: 06.12.2016 (Вт.)
шт.
отложить

|