Интернет-магазин My-shop.ru
Акции   
Персональный раздел v
   Доставка    Оплата    Скидки    Форум    Помощь
для Москвы  +7 (495) 638-53-38
бесплатно для РФ  +7 (800) 100-53-38
 
0
• 
Книги (690759)
• 
Научная и научно-популярная литература (68604)
• 
Прикладные науки. Техника (6530)
• 
Автоматика. Радиоэлектроника. Связь (877)
• 
Электроника. Радиоэлектроника (423)

• 
Образование, учебная литература (188016)
• 
Для специалистов (10146)
• 
Информатика. Электроника. Связь (318)
• 
Научные издания, теории, монографии, статьи, лекции (118)

• 
Образование, учебная литература (188016)
• 
Для специалистов (10146)
• 
Физика (332)
• 
Научные издания, теории, монографии, статьи, лекции (146)

• 
Образование, учебная литература (188016)
• 
Для специалистов (10146)
• 
Химия (216)
• 
Научные издания, теории, монографии, статьи, лекции (51)

• 
Книги (690759)
• 
Научная и научно-популярная литература (68604)
• 
Естественные науки (5777)
• 
Химические науки (394)
• 
Научная, учебная литература для специалистов (341)
• 
Физическая химия. Химическая физика (138)



Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазы

Киреев В.Ю. (найти все товары), Столяров А.А.

Технологии микроэлектроники. Химическое осаждение из газовой фазыПроведена классификация процессов и оборудования химического осаждения из газовой фазы (ХОГФ), используемых в технологии производства интегральных микросхем (ИМС), и показаны тенденции их развития. Приведены основные характеристики элементов микроструктур ИМС, получаемых в процессах ХОГФ, а также технологические характеристики самих процессов и используемых реагентов. Рассмотрены параметры оборудования для реализации процессов ХОГФ и проведен анализ его возможностей, достоинств и недостатков при осаждении функциональных слоев микросхем. Приведены основные электрофизические характеристики осаждаемых пленок.
Для инженеров-технологов и научных работников, использующих в своей практической работе химическое осаждение пленок из газовой фазы. Книга может быть полезна также студентам старших курсов, аспирантам и преподавателям ВУЗов.

Издательство: Техносфера
Серия: Мир электроники

Рейтинг: - (голосов: 0)
Ваша оценка: 1 2 3 4 5  

дата выпуска: 2006 г. 
язык: русский
количество томов: 1
количество страниц: 192 стр.
переплет: твердый
формат: 60x90/16 (145x215 мм)
тираж: 1500 экз.
стандарт: 16 шт.
возрастная категория: 18+ (нет данных)
код системы скидок: 25
код в My-shop.ru: 152569

ISBN: 5-94836-039-3, 978-5-94836-039-3


Киреев В.Ю.автор/составительКиреев В.Ю., найти все товары
Столяров А.А.автор/составительСтоляров А.А., найти все товары

139 руб.
в наличии*
ориентировочная дата отгрузки: 06.12.2016 (Вт.)
шт.
отложить

|