Интернет-магазин My-shop.ru
Акции   
Персональный раздел v
   Доставка    Оплата    Скидки    Форум    Помощь
для Москвы  +7 (495) 638-53-38
бесплатно для РФ  +7 (800) 100-53-38
 
0
Красиво и практично!Новогодние наборы My-shop.ru — лучшее решение вопроса с подарками под ёлку!Удобно и выгодно!
• 
Книги (688840)
• 
Научная и научно-популярная литература (68553)
• 
Прикладные науки. Техника (6491)
• 
Материаловедение. Нанотехнологии (207)

• 
Образование, учебная литература (189059)
• 
Для специалистов (10100)
• 
Физика (328)
• 
Научные издания, теории, монографии, статьи, лекции (145)



Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологии

Берлин Е.В. (найти все товары), Сейдман Л.А.

Ионно-плазменные процессы в тонкопленочной технологииНастоящая книга представляет собой подробное справочное руководство по основным вакуумным плазмохимическим процессам в тонкопленочной технологии - реактивному магнетронному нанесению тонких пленок и ионно-плазменному травлению. В ней обобщено современное состояние этих процессов.
Книга содержит подробное описание магнетронных напылительных установок и плазмохимических установок для травления тонких пленок. Рассмотрены технологические особенности их использования. Описаны способы управления процессами реактивного нанесения тонких пленок и использования среднечастотных импульсных источников питания. Показаны технологические особенности получения тонких пленок тройных химических соединений методом реактивного магнетронного сораспыления. Описана структура получаемых пленок и ее зависимость от параметров процесса нанесения. Приведены принципы конструирования источника высокочастотного разряда высокой плотности для ионного или плазмохимического прецизионного травления тонких пленок, а также его использования для стимулированного плазмой осаждения тонких пленок.
Книга рассчитана на специалистов, занимающихся исследованием, разработкой и изготовлением различных изделий электронной техники и нанотехнологии, совершенствованием технологии их производства и изготовлением специализированного оборудования. Она также будет полезна в качестве учебного пособия для студентов старших курсов и аспирантов соответствующих специализаций.

Издательство: Техносфера

Рейтинг: - (голосов: 0)
Ваша оценка: 1 2 3 4 5  

дата выпуска: 2010 г. 
язык: русский
количество томов: 1
количество страниц: 528 стр.
переплет: твердый
формат: 70x100/16 (170x240 мм)
стандарт: 6 шт.
возрастная категория: 18+ (нет данных)
код системы скидок: 25
код в My-shop.ru: 528807

ISBN: 978-5-94836-222-9


Берлин Е.В.автор/составительБерлин Е.В., найти все товары
Сейдман Л.А.автор/составительСейдман Л.А., найти все товары

812 руб.
в наличии*
ориентировочная дата отгрузки: 13.12.2016 (Вт.)
шт.
отложить

|