Интернет-магазин My-shop.ru
Акции   
Персональный раздел v
   Доставка    Оплата    Скидки    Форум    Помощь
для Москвы  +7 (495) 638-53-38
бесплатно для РФ  +7 (800) 100-53-38
 
0
Красиво и практично!Новогодние наборы My-shop.ru — лучшее решение вопроса с подарками под ёлку!Удобно и выгодно!
• 
Книги (688840)
• 
Научная и научно-популярная литература (68553)
• 
Прикладные науки. Техника (6491)
• 
Материаловедение. Нанотехнологии (207)

• 
Книги (688840)
• 
Научная и научно-популярная литература (68553)
• 
Прикладные науки. Техника (6491)
• 
Автоматика. Радиоэлектроника. Связь (880)
• 
Электроника. Радиоэлектроника (424)

• 
Образование, учебная литература (189059)
• 
ВУЗовская литература (29004)
• 
Техника. Электротехника. Приборо- и машиностроение. Промышленность (1787)
• 
Научные издания, теории, монографии, статьи, лекции (114)



Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Галперин В.А. (найти все товары), Мочалов А.И., Данилкин Е.В.

Заглянуть внутрь (несколько страниц в формате PDF)
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособиеВ свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Серия: Нанотехнологии

Рейтинг: 5.0 (голосов: 1)
Ваша оценка: 1 2 3 4 5  

дата выпуска: 2015 г. 
язык: русский
количество томов: 1
количество страниц: 283 стр.
переплет: твердый
формат: 60x90/16 (145x215 мм)
стандарт: 16 шт.
возрастная категория: 18+ (нет данных)
код системы скидок: 25
код в My-shop.ru: 603939

ISBN: 978-5-9963-0032-7


Галперин В.А.автор/составительГалперин В.А., найти все товары
Мочалов А.И.автор/составительМочалов А.И., найти все товары
Данилкин Е.В.автор/составительДанилкин Е.В., найти все товары

Заглянуть внутрь (несколько страниц в формате PDF)
359 руб.
в наличии*
ориентировочная дата отгрузки: 14.12.2016 (Ср.)
шт.
отложить

|



С этим товаром часто покупают...
Цена: 261 руб.