Интернет-магазин My-shop.ru
Акции   
Персональный раздел v
   Доставка    Оплата    Скидки    Форум    Помощь
для Москвы  +7 (495) 638-53-38
бесплатно для РФ  +7 (800) 100-53-38
 
0
РОНЯЕМ ЦЕНЫ!4 дня без скидок! Фантастические цены — всем! Беспрецедентная акция! Читать полные условия акцииОТМЕНЯЕМ СКИДКИ!
• 
Книги (703045)
• 
Научная и научно-популярная литература (72305)
• 
Прикладные науки. Техника (7041)
• 
Материаловедение. Нанотехнологии (228)

• 
Книги (703045)
• 
Научная и научно-популярная литература (72305)
• 
Прикладные науки. Техника (7041)
• 
Автоматика. Радиоэлектроника. Связь (916)
• 
Электроника. Радиоэлектроника (441)

• 
Образование, учебная литература (193930)
• 
ВУЗовская литература (29887)
• 
Техника. Электротехника. Приборо- и машиностроение. Промышленность (1856)
• 
Научные издания, теории, монографии, статьи, лекции (119)



Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Галперин В.А. (найти все товары), Мочалов А.И., Данилкин Е.В.

Заглянуть внутрь (несколько страниц в формате PDF)
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособиеВ свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Серия: Нанотехнологии

Рейтинг: 5.0 (голосов: 1)
Ваша оценка: 1 2 3 4 5  

дата выпуска: 2015 г. 
язык: русский
количество томов: 1
количество страниц: 283 стр.
переплет: твердый
формат: 60x90/16 (145x215 мм)
стандарт: 16 шт.
возрастная категория: 18+ (нет данных)
код системы скидок: 0
код в My-shop.ru: 603939

ISBN: 978-5-9963-0032-7


Галперин В.А.автор/составительГалперин В.А., найти все товары
Мочалов А.И.автор/составительМочалов А.И., найти все товары
Данилкин Е.В.автор/составительДанилкин Е.В., найти все товары

Заглянуть внутрь (несколько страниц в формате PDF)
275 руб.
в наличии*
ориентировочная дата отгрузки: 01.03.2017 (Ср.)
шт.
отложить

|



С этим товаром покупают...
Цена: 261 руб.
Цена: 275 руб.
Цена: 597 руб.
Цена: 175 руб.
Цена: 574 руб.