Интернет-магазин My-shop.ru
Акции   
Персональный раздел v
   Доставка    Оплата    Скидки    Форум    Помощь
для Москвы  +7 (495) 638-53-38
бесплатно для РФ  +7 (800) 100-53-38
 
0
Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях. Учебное пособие

Авторы/составители: Галперин В.А., Мочалов А.И., Данилкин Е.В.
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Серия: Нанотехнологии

В свете современного развития нанотехнологии и микромеханики рассмотрены процессы и системы вакуумно-плазменного травления, находящие широкое применение в производстве современных ультрабольших интегральных схем, изделий микроэлектромеханических систем и наносистем. Проанализированы способы обеспечения вакуумно-технических требований к проведению этих процессов, приведены методы контроля и диагностики, позволяющие достаточно глубоко понять характер протекающих процессов с целью соответствующей оптимизации технологии и оборудования.
Для студентов вузов, изучающих процессы микро- и наноэлектроники, а также аспирантов, инженеров и научных работников, занимающихся вопросами технологии интегральных схем и микромеханики.

388 руб.
в наличии*
ориентировочная дата отгрузки: 29.06.2017 (Чт.)
шт.
отложить
дата выпуска2015 г. 
языкрусский
количество томов1
количество страниц283 стр.
переплеттвердый
формат60x90/16 (145x215 мм)
ISBN978-5-9963-0032-7
стандарт16 шт. 
возрастная категория18+ (нет данных)
код системы скидок25
код в My-shop.ru603939
С этим товаром покупают...