Интернет-магазин My-shop.ru
Акции   
Персональный раздел v
   Доставка    Оплата    Скидки    Форум    Помощь
для Москвы  +7 (495) 638-53-38
бесплатно для РФ  +7 (800) 100-53-38
 
0
Красиво и практично!Новогодние наборы My-shop.ru — лучшее решение вопроса с подарками под ёлку!Удобно и выгодно!
• 
Книги (688416)
• 
Научная и научно-популярная литература (68409)
• 
Прикладные науки. Техника (6480)
• 
Материаловедение. Нанотехнологии (205)

• 
Образование, учебная литература (188631)
• 
ВУЗовская литература (28987)
• 
Физика (1333)
• 
Научные издания, теории, монографии, статьи, лекции (216)



Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для вузов. Том 2

Акуленок М.В. (найти все товары), Андреева В.М., Громов Д.Г

Заглянуть внутрь (несколько страниц в формате PDF)
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для вузов. Том 2Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.
Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.

Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Серия: Нанотехнологии

Рейтинг: 5.0 (голосов: 1)
Ваша оценка: 1 2 3 4 5  

дата выпуска: 2014 г. 
язык: русский
количество томов: 1
количество страниц: 252 стр.
переплет: твердый
формат: 60x90/16 (145x215 мм)
стандарт: 18 шт.
возрастная категория: 18+ (нет данных)
код системы скидок: 25
код в My-shop.ru: 607106

ISBN: 978-5-9963-0336-6


Акуленок М.В.автор/составительАкуленок М.В., найти все товары
Андреева В.М.автор/составительАндреева В.М., найти все товары
Громов Д.Гавтор/составительГромов Д.Г, найти все товары

Заглянуть внутрь (несколько страниц в формате PDF)
330 руб.
в наличии*
ориентировочная дата отгрузки: 14.12.2016 (Ср.)
шт.
отложить

|