Интернет-магазин My-shop.ru
Акции   
Персональный раздел v
   Доставка    Оплата    Скидки    Форум    Помощь
для Москвы  +7 (495) 638-53-38
бесплатно для РФ  +7 (800) 100-53-38
 
0
ХИТЫ 2017 ГОДАДо конца лета — скидки на модные игрушки и беговелы, а также на популярные товары для сада и огорода!СКИДКА 20%
Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для вузов. Том 2

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий. Учебное пособие для вузов. Том 2

Авторы/составители: Акуленок М.В., Андреева В.М., Громов Д.Г
Издательство: Бином. Лаборатория знаний
Серия: Нанотехнологии

Разделение данной книги на 2 тома обусловлено большим объемом материала, касающегося интегральных микро- и нанотехнологий; при этом каждый из томов представляет вполне самостоятельный интерес. Во втором томе изложены технологические и конструктивные основы и особенности методов формирования и «сухого» травления на поверхности подложки тонких слоев и локальных областей проводящих, диэлектрических и полупроводниковых материалов в условиях уменьшения размеров элементов до нанометрового диапазона для интегральных технологий микро- и наноэлектроники, оптоэлектроники, микросистемной техники. Рассматриваются эпитаксиальные процессы, процессы вакуум-термического и ионно-плазменного осаждения, ионного, ионно-химического и плазмохимического травления, термического окисления, методы легирования термической диффузией и ионной имплантацией, а также процессы фотолитографии.
Для студентов и аспирантов высших учебных заведений, специализирующихся в области микро- и наноэлектроники, микроэлектромеханических систем, физики твердого тела, материаловедения. Книга может быть полезна инженерно-техническим работникам соответствующих областей.

464 руб.
в наличии*
ориентировочная дата отгрузки: 25.08.2017 (Пт.)
шт.
отложить
дата выпуска2011 г. 
языкрусский
количество томов1
количество страниц252 стр.
переплеттвердый
формат60x90/16 (145x215 мм)
ISBN978-5-9963-0336-6
стандарт18 шт. 
возрастная категория18+ (нет данных)
код системы скидок25
код в My-shop.ru607106
Бестселлеры раздела...