Введение в нанотехнологию. Учебник

От авторов
Предисловие
Введение
Глава 1. Общие представления о нанотехнологии
1.1. Научное мировоззрение, наномир и
нанотехнология
1.2. Исторические начала нанотехнологии
1.3. Переход от микротехнологии к
нанотехнологии
1.4. Особенности наноразмерного состояния
вещества
Контрольные вопросы
Цитируемая и рекомендуемая литература
Глава 2. Традиционные проблемы нанотехнологии
2.1. Проблема чистоты материала и вещества
2.2. Проблема чистоты поверхности
2.3. Проблема чистоты производственных
помещений
2.4. Проблемы шероховатости поверхности и
поверхностных структур
2.5. Проблема размерных эффектов в
нанотехнологии
Контрольные вопросы
Цитируемая и рекомендуемая литература
Глава 3. Некоторые представления фрактальной
геометрии и фрактальной физики
3.1. Понятие континуума. Непрерывность и
дискретность
3.2. Основные понятия фрактальной геометрии и
фрактальной физики
3.3. Реальные фракталы и методы определения
фрактальной размерности
3.4. Фрактальный подход в микро- и
нанотехнологии
3.5. Методы получения фрактальных структур в
микро- и нанотехнологии
3.6. Концепция мультифрактала
3.7. Фракталы в радиоэлектронике
Контрольные вопросы
Цитируемая и рекомендуемая литература
Глава 4. Специфические проблемы наномира
4.1. Основные понятия нелинейной динамики
4.2. Процессы самоорганизации и синергетика
4.3. Реализация процессов самоорганизации в
различных системах
4.4. Самоорганизация в технологических процессах
4.5. Проблемы невоспроизводимости в
нанотехнологии
4.6. Проблема измерений в квантовой механике и
наномире
Контрольные вопросы
Цитируемая и рекомендуемая литература
Глава 5. Нанодисперсное состояние вещества
5.1. Особенности нанодисперсного состояния
вещества. Понятие о кластере и наноразмерной
частице. Магические числа
5.2. Представление о структурных скелетах и
надмолекулярном состоянии вещества. Понятие
мезофазы
5.3. Методы и технологии получения
нанодисперсных частиц и наноразмерных пленок
5.4. Золь-гель технологии
5.5. Электрохимические методы в нанотехнологии
5.6. Электрохимическая плазма. Твердые
электролиты
5.7. Нанокомпозитные материалы
5.8. Алмазоподобные пленки и нанокомпозиты
Контрольные вопросы
Цитируемая и рекомендуемая литература
Глава 6. Объемные и поверхностные области с
наноструктурой
6.1. Основы молекулярной электроники
6.2. Квантовые ямы, проволоки и точки
6.3. Сверхрешетки
6.4. Фотонные кристаллы
Контрольные вопросы
Цитируемая и рекомендуемая литература
Глава 7. Нанометрология. Качественный и
количественный анализ
7.1. Введение. Краткие основы нанометрологии
7.2. Электронная Оже-спектроскопия
7.3. Рентгеновский микроанализ
7.4. Рентгеноструктурный анализ
7.5. Спектроскопия обратного рассеяния
Резерфорда
7.6. Ионный микроанализ и ионная масс-
спектрометрия
7.7. Рентгеновская микроскопия
Контрольные вопросы
Цитируемая и рекомендуемая литература
Глава 8. Нанометрология. Топографический и
структурный анализ
8.1. Электронная микроскопия. Общие
представления
8.2. Просвечивающая электронная микроскопия
8.3. Растровая электронная микроскопия.
Физические и технические основы работы РЭМ
8.4. Контраст в РЭМ и его разновидности
8.5. Магнитный контраст в РЭМ
Контрольные вопросы
Цитируемая и рекомендуемая литература
Глава 9. Зондовая микроскопия
9.1. Автоионный микроскоп
9.2. Сканирующий туннельный микроскоп
9.3. Атомно-силовой микроскоп
9.4. Магнитно-силовая и электросиловая
микроскопия
9.5. Микроскопия ближнего поля
9.6. Конфокальная микроскопия
Контрольные вопросы
Цитируемая и рекомендуемая литература
Глава 10. Перспективные направления
нанотехнологии
10.1. Автоэмиссионная вакуумная электроника и
нанотехнология
10.2. Квантовые компьютеры
10.3. Наноматериалы
10.4. Военные нанотехнологии
10.5. Нанотехнологии в медицине и биологии
10.6. Опасности нанотехнологий. Реальные и
мнимые
Контрольные вопросы
Цитируемая и рекомендуемая литература