Книги / Научная и научно-популярная литература / Прикладные науки. Техника / Автоматика. Радиоэлектроника. Связь / Электроника. Радиоэлектроника
Образование, учебная литература / ВУЗовская литература / Информатика. Электроника. Связь / Учебники: доп. пособия
Образование, учебная литература / ВУЗовская литература / Информатика. Электроника. Связь / Учебники: доп. пособия
Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2
Цветков Юрий Борисович
Код товара: 4951808
(0 оценок)Оценить
ОтзывНаписать отзыв
ВопросЗадать вопрос
1 / 3
1 / 3
-35%
504
775
Доставим в
г. МоскваПланируемая дата
5 июня (Ср)
Курьером
бесплатно от 10 000 ₽
В пункт выдачи
от 155 ₽
бесплатно от 10 000 ₽
Точная стоимость доставки рассчитывается при оформлении заказа
Издательство:
Год издания:
2018 г.
Описание
Характеристики
Дано описание общей последовательности процессов микротехнологии на примерах производства интегральных микросхем и кремниевого микродатчика давления. Рассмотрены основные этапы получения кремниевых монокристаллических пластин, ключевые операции микротехнологии - изготовление кремниевых пластин, оксидирование. Акцентировано внимание на взаимосвязи между свойствами материалов, структуры, устройством и электрическими характеристиками микроструктур. Рассмотрены физико-химические модели и методы анализа качества технологических процессов микротехнологии.
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
Для студентов МГТУ им. Н. Э. Баумана, обучающихся по направлениям "Электроника и наноэлектроника" и "Наноинженерия".
количество томов
1
количество страниц
124 стр.
переплет
Мягкая обложка
размеры
235x165x7 мм
цвет
Серый
тип бумаги
офсетная (60-220 г/м2)
ISBN
978-5-7038-4864-7
возрастная категория
18+ (нет данных)
вес
код в Майшоп
4951808
язык
русский
Отзывы
Вопросы
Поделитесь своим мнением об этом товаре с другими покупателями — будьте первыми!
Дарим бонусы за отзывы!
За какие отзывы можно получить бонусы?
- За уникальные, информативные отзывы, прошедшие модерацию
Как получить больше бонусов за отзыв?
- Публикуйте фото или видео к отзыву
- Пишите отзывы на товары с меткой "Бонусы за отзыв"
Задайте вопрос, чтобы узнать больше о товаре
Если вы обнаружили ошибку в описании товара «Процессы и оборудование. Микротехнологии. Модули 1 и 2» (авторы: Цветков Юрий Борисович), то выделите её мышкой и нажмите Ctrl+Enter. Спасибо, что помогаете нам стать лучше!