Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий
Яфаров Равиль Кяшшафович
Код товара: 5066952
(0 оценок)Оценить
ОтзывНаписать отзыв
ВопросЗадать вопрос
Издательство:
Год издания:
2009
Описание
Характеристики
В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера-Планка-Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.
код в Майшоп
5066952
возрастная категория
18+ (нет данных)
количество томов
1
количество страниц
216 стр.
размеры
220x150x15 мм
ISBN
978-5-9221-1150-8
тип бумаги
офсетная (60-220 г/м2)
цвет
Синий
вес
370 г
язык
Русский
переплёт
Твёрдый переплёт
Содержание
Введение
Глава 1. Физико-технические основы создания СВЧ
плазменных устройств с электронным
циклотронным резонансом
Глава 2. Взаимодействие электромагнитных волн с
плазмой во внешнем магнитном поле
Глава 3. Диффузионная модель СВЧ газового
разряда и ее применение в технологических
процессах
Глава 4. Характеристики СВЧ-плазмы в магнитном
поле
Глава 5. Сверхвысокочастотное плазмохимическое
травление
Глава 6. Сверхвысокочастотное плазмохимическое
травление кремниевых материалов
Глава 7. Плазмохимический СВЧ-синтез
низкоразмерных гетеро-структур на основе
кремния и его соединений
Глава 8. Плазмохимический СВЧ-синтез
низкоразмерных угле-родных структур различных
аллотропных модификаций
Список литературы
Глава 1. Физико-технические основы создания СВЧ
плазменных устройств с электронным
циклотронным резонансом
Глава 2. Взаимодействие электромагнитных волн с
плазмой во внешнем магнитном поле
Глава 3. Диффузионная модель СВЧ газового
разряда и ее применение в технологических
процессах
Глава 4. Характеристики СВЧ-плазмы в магнитном
поле
Глава 5. Сверхвысокочастотное плазмохимическое
травление
Глава 6. Сверхвысокочастотное плазмохимическое
травление кремниевых материалов
Глава 7. Плазмохимический СВЧ-синтез
низкоразмерных гетеро-структур на основе
кремния и его соединений
Глава 8. Плазмохимический СВЧ-синтез
низкоразмерных угле-родных структур различных
аллотропных модификаций
Список литературы
Отзывы
Вопросы
Поделитесь своим мнением об этом товаре с другими покупателями — будьте первыми!
Дарим бонусы за отзывы!
За какие отзывы можно получить бонусы?
- За уникальные, информативные отзывы, прошедшие модерацию
Как получить больше бонусов за отзыв?
- Публикуйте фото или видео к отзыву
- Пишите отзывы на товары с меткой "Бонусы за отзыв"
Задайте вопрос, чтобы узнать больше о товаре
Если вы обнаружили ошибку в описании товара «Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий» (авторы: Яфаров Равиль Кяшшафович), то выделите её мышкой и нажмите Ctrl+Enter. Спасибо, что помогаете нам стать лучше!