Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение

Ефремов Александр Михайлович, Светцов Владимир Иванович

Код товара: 4848171
(0 оценок)Оценить
ОтзывНаписать отзыв
ВопросЗадать вопрос
Фото 2
-42%
344
592
Доставим в
г. Москва
Планируемая дата
4 марта (Пн)
Курьером
Л-Пост
бесплатно от 3 500 ₽
В пункт выдачи
от 77 ₽
бесплатно от 2 000 ₽
Точная стоимость доставки рассчитывается при оформлении заказа
Издательство:
Физматлит
Год издания:
2013 г.
Может быть отгружен товар указанного или более позднего года

Описание

Характеристики

В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
количество томов
1
количество страниц
216 стр.
переплет
Твёрдый переплёт
размеры
221x145x18 мм
цвет
Голубой
тип бумаги
офсетная (60-220 г/м2)
формат
60x90/16 (145x215 мм)
ISBN
978-5-9221-1406-6
стандарт
возрастная категория
18+ (нет данных)
вес
код в Майшоп
4848171
язык
русский

Содержание

Введение
Глава 1. Методические вопросы исследования
параметров плазмы и гетерогенных плазменных
процессов
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности
образования и гибели активных частиц при разряде
в хлоре
Глава 3. Механизмы образования и гибели
активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2
и O2
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu,
GaAs, и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2,
и O2.

Отзывы

Вопросы

Поделитесь своим мнением об этом товаре с другими покупателями — будьте первыми!

Дарим бонусы за отзывы!

За какие отзывы можно получить бонусы?
  • За уникальные, информативные отзывы, прошедшие модерацию
Как получить больше бонусов за отзыв?
  • Публикуйте фото или видео к отзыву
  • Пишите отзывы на товары с меткой "Бонусы за отзыв"
Правила начисления бонусов
Задайте вопрос, чтобы узнать больше о товаре
Если вы обнаружили ошибку в описании товара «Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение» (авторы: Ефремов Александр Михайлович, Светцов Владимир Иванович), то выделите её мышкой и нажмите Ctrl+Enter. Спасибо, что помогаете нам стать лучше!
Ваш населённый пункт:
г. Москва
Выбор населённого пункта