Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение
Ефремов Александр Михайлович, Светцов Владимир Иванович
Код товара: 4848171
(0 оценок)Оценить
ОтзывНаписать отзыв
ВопросЗадать вопрос
1 / 25
1 / 25
Издательство:
Год издания:
2013
Редактор:
Описание
Характеристики
В книге рассмотрены результаты экспериментального и теоретического исследования кинетики и механизмов физико-химических процессов в неравновесной низкотемпературной плазме хлора и его смесей с инертными и молекулярными газами. Проанализировано влияние внешних параметров разряда на энергетическое распределение электронов, транспортные и кинетические характеристики электронного газа. Проведен анализ кинетики нейтральных и заряженных частиц; установлены взаимосвязи задаваемых параметров плазмы и начального состава плазмообразующих смесей со стационарными концентрациями активных частиц и плотностями их потоков на поверхность, ограничивающую зону плазмы. Приводятся результаты исследований кинетических закономерностей и механизмов взаимодействия активных частиц плазмы с рядом металлов и полупроводников. Книга предназначена научно-техническим работникам в области неравновесной плазмохимии и плазмохимической технологии, а также студентам и аспирантам соответствующих специальностей.
Содержание
Введение
Глава 1. Методические вопросы исследования
параметров плазмы и гетерогенных плазменных
процессов
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности
образования и гибели активных частиц при разряде
в хлоре
Глава 3. Механизмы образования и гибели
активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2
и O2
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu,
GaAs, и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2,
и O2.
Глава 1. Методические вопросы исследования
параметров плазмы и гетерогенных плазменных
процессов
Глава 2. Параметры плазмы и закономерности
образования и гибели активных частиц при разряде
в хлоре
Глава 3. Механизмы образования и гибели
активных частиц в плазме смесей хлора с Ar, N2, H2
и O2
Глава 4. Кинетика и механизмы травления Cu,
GaAs, и Si в плазме хлора и его смесей с Ar, N2, H2,
и O2.
Отзывы
Вопросы
Поделитесь своим мнением об этом товаре с другими покупателями — будьте первыми!
Дарим бонусы за отзывы!
За какие отзывы можно получить бонусы?
- За уникальные, информативные отзывы, прошедшие модерацию
Как получить больше бонусов за отзыв?
- Публикуйте фото или видео к отзыву
- Пишите отзывы на товары с меткой "Бонусы за отзыв"
Задайте вопрос, чтобы узнать больше о товаре
Если вы обнаружили ошибку в описании товара «Неравновесная плазма хлора. Свойства и применение» (авторы: Ефремов Александр Михайлович, Светцов Владимир Иванович), то выделите её мышкой и нажмите Ctrl+Enter. Спасибо, что помогаете нам стать лучше!